您的射频系统将从此得到改变

高精度功率测量

cito Plus 射频电源

一种为要求苛刻的射频等离子工艺而开发的解决方案

cito Plus可提供卓越的脉冲品质,稳定性及功率投射准确性,使其不仅对于非半导体的应用,同时对于如等离子沉积及蚀刻等的半导体类应用来说也是最佳的选择。

  • 长时稳定运行/低故障率 – 可提高产能,同时降低运行成本
  • 具有高准确性,可重复性及稳定性 – 满足您的工艺要求
  • 具有更高的功率输出效率 – 能够产生更高的经济及环保效益

优点

  • 具有更好的等离子稳定性,可确保工艺的重复性
  • 具有高筑波比的理想脉冲波形
  • 具有更精确的功率输出,可对等离子工艺进行更精确的控制
  • 对于电缆长度的低敏感性可使其更易于与设备整合n
  • 具有更高的工作效率及更低的使用成本
     

将cito Plus用于升级及置换

  • 相对于设备既有配置,可提供更好的稳定性
  • 既可用于Bias端也可用于Source端
  • 新产品的寿命周期为7至10年

即插即用,方便您的使用
  • 可选择的接口:RS-232C, Ethernet, Profibus等
  • 对于同轴电缆长度的敏感性较低 – 无需对电缆长度进行调节 – 可采用一样的电缆长度
  • 采用气冷设计,无需冷却管路
  • 简便的前置主动用户面板或者被动面板
  • 具有从187VAC至250VAC的较大范围的交流输入

马上进行升级吧!

模拟界面描述 (in English)

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Type Designation Part Number Frequency (MHz) RF Power (W) AC Input Fieldbus Datasheet
cito Plus 136-ACNA-N37A-FP 64001021 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-P37A-FP 64001027 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-N25C-FP 64001028 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 136-ACNA-P37A-FP 64001031 13.56 600 230 VAC Profibus PDF
cito Plus 136-ACNA-N25A-FP 64001035 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-N25A-FP 64001042 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-N37A-FP-003 64001057 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-N37A-FP 64001200 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-P37A-FP 64001210 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-N37A-FP 64001211 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-N25C-FP 64001213 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-N25C-FP-002 64001214 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-N25A-FN 64001142 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-N37C-FN 64001130 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-N25A-FN 64001217 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-N25A-FP 64001218 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-N37A-FP-003 64001212 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 136-ACNA-N25A-FN 64001135 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 136-ACNA-N37A-FN 64001121 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 136-APNA-N25A-FN 64001215 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 136-APNA-N25A-FP 64001219 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-ACNA-N37A-FN 65001111 60 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-ACNA-N37A-FP 65001011 60 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-APNA-N25A-FN 65001211 60 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-APNA-N25C-FN 65001212 60 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-APNA-N25C-FP 65001213 60 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 606-ACNA-N37A-FN 65001110 60 600 230 VAC none PDF
cito Plus 606-ACNA-N37A-FP 65001010 60 600 230 VAC none PDF
cito Plus 606-APNA-N25A-FN 65001214 60 600 230 VAC none PDF
cito Plus 606-APNA-N25A-FP 65001215 60 600 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-ACNA-N25A-FP 65001210 60 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-ACNA-N25C-FP 65001035 60 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-N37A-FN 64001100 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-P37A-FN 64001127 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 136-ACNA-P37A-FN 64001131 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 136-APNA-N37A-FN 64001216 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 136-APNA-N37A-FP 64001220 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 1311-ACNA-N25C-FP 64001221 13.56 1100 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-P25A-FN 64001222 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 136-ACNA-P25A-FN 64001223 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-N15S1-FN 64001224 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 136-APNA-P25A-FN 64001225 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-N37A-FN 64001226 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-N25C-FN 64001227 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus1310-ACNA-P25A-FN 64001228 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 136-ACNA-N25C-FN 64001229 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-N25C-FN 64001230 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-ACNA-N25A-FN 65001216 60 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-ACNA-P25A-FN 65001217 60 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1311-ACNA-N25C-FN 64001231 13.56 1100 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-ACNA-P37C-FN 64001232 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 1310-APNA-P37A-FN 64001233 13.56 1000 230 VAC none PDF
cito Plus 136-APNA-P37A-FN 64001234 13.56 600 230 VAC none PDF
cito Plus 6010-ACNA-N25C-FP 65000049 60 1000 230 VAC none PDF

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